光学晶圆检测系统采用高精度光学检测技术,对圆片上的 nm/μm 尺度的缺陷和污染进行检测和识别,以便发现在不同生产节点中的圆片的产品质量问题,该设备可以进一步分为明/暗场图形缺陷检测、无图形表面检测系统、宏观缺陷检测设备
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光学晶圆检测系统采用高精度光学检测技术,对圆片上的 nm/μm 尺度的缺陷和污染进行检测和识别,以便发现在不同生产节点中的圆片的产品质量问题,该设备可以进一步分为明/暗场图形缺陷检测、无图形表面检测系统、宏观缺陷检测设备
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据GIR ( )调研,按收入计,2022年全球光学晶圆检测系统收入大约 百万美元,预计2029年达到 百万美元,2023至2029期间,年复合增长率CAGR为 %
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根据本项目团队最新调研,预计2029年全球光学晶圆检测系统产值达到 百万美元,2023-2029年期间年复合增长率CAGR为 %
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